以创新实干突围 酿科技自主之“气”——成武易信环保攻克高端三氟化硼-11电子特气国产化难题侧记

“全国那么多研发机构耗时七八年都没研究出来，没想到一个县城企业做出来了。”这是中国科学院院士韩布兴在一次科技成果评价会上，对成武易信环保科技有限公司（以下简称“易信环保”）硼同位素项目的高度评价。

据易信环保董事长赵东方介绍，该公司硼同位素分离与富集项目一举攻克两个“卡脖子”技术。一是在国内首次实现高丰度核级硼-10酸工业化量产。二是稳定量产的高端三氟化硼-11电子特气（高纯度、高丰度）填补国内市场空白，为半导体产业自主可控注入了国产之“气”。

三氟化硼-11电子特气，这个大众较为陌生的名词，却堪称芯片中的“血液”。高丰度、高纯度三氟化硼-11是高端芯片、面板等半导体产业中重要的特种气体材料，其丰度和纯度直接决定芯片的良品率和性能。“在我们量产之前，高端三氟化硼-11（高丰度、高纯度）只有国外的两家公司能生产，我国长期依赖进口。”赵东方介绍。因技术受制于人，故而前几年国外频频对我国半导体企业“断气”，令不少企业生产研发陷入僵局。

易信环保成立于2014年，最初的主营产品是环保增塑剂和饲料添加剂，2015年开始接触硼同位素项目。中试成功后，2019年初，易信环保组建研发攻坚团队，正式开启了这场国产替代“从0到1”的突围。不同于实验室小试，工业化量产需要突破四大难关：工艺设计、制作设备、安装以及调试。

“实验室能做到95%丰度已是极限，但我们要突破99%，还要保证量产时品质稳定，难度极大。”赵东方说。因为国际上的技术封锁，所以他们在研发时根本没有同类参考，出现问题只能自己凭经验想尽办法解决。高校和科研院所的行业专家、相关的论文文献、国内外的报道资料，都是他们的参考依据。但这些只能解决一些零星问题，系统性的难题还需要他们一个个去“死磕”。研发期间，整个团队已数不清经历过多少个不眠之夜。

“现在，全国都在期待着你们成功！”在2020年全国工业气体行业年会上，一位业内专家紧握着赵东方的手郑重地说。当时，易信环保的高端三氟化硼-11还未成功量产，但行业内都已经知道了这个敢啃硬骨头的企业。“那一刻，我忽然感觉自己不是一个人或一个团队在‘战斗’。”赵东方说，也是从那时起，他背负上了一种神圣的使命、一份厚重的责任。

终于，在2023年9月，高端三氟化硼-11电子特气成功实现达标量产。这次成功不仅是一家企业的成功，更是我国半导体产业又一次“挺起脊梁”。背后是赵东方团队1700多个日夜的呕心沥血和9000多万元的真金白银。“我们是破釜沉舟，不破楼兰终不还。”赵东方对于国产替代的执着从始至终。

菏泽也为这个项目“铆足了劲”。“市委书记张伦曾专门批示相关部门要及时跟踪我们这个项目的进展，做好相关服务。”赵东方说，国内从事硼同位素富集专业的高级技术人员较少，对口人员难以匹配，成武县在国内外高校人才引进上给予了企业很大帮助。

在政策争取上，有关部门第一时间帮助企业协调、申报。去年7月份，市工信局积极向上沟通，及时将易信环保硼-10酸项目先后录入《省重点新材料首批次应用示范指导目录》和《国家重点新材料首批次应用示范指导目录》。在资格审定阶段，全程跟踪指导，组织专家协助企业完善申报材料，最终企业成功入选国家2024年首批次新材料保险补偿项目名单。“我们公司的新材料保险费用可享受国家80%补贴，补贴额度达240万元。”赵东方说。

目前，易信环保可稳定生产99.99%丰度、99.999%纯度的三氟化硼-11电子特气，同时硼-10酸的丰度可达99%、纯度可达99.95%，产品已向国内相关企业供货。

令人振奋的是，易信环保已经启动二期规划：扩建年产30吨三氟化硼-11气体(含高纯电子特气）、年产100吨96%丰度硼-10酸生产线。“前段时间，一家台资半导体企业找到我们，指名要99.99丰度的三氟化硼-11电子特气。”赵东方说，随着我国国产替代进程不断加快，企业的发展前景广阔，提高产能刻不容缓。

烈日高悬，云淡风轻，厂区一派繁忙。一辆辆运输车陆续载着银色钢瓶驶向全国各地，瓶身上易信环保的标识熠熠生辉。可以预见，在不久的将来，一定会有越来越多的高端“中国气体”在全球市场与国际头部企业同台竞技。

菏泽日报记者 马源劭