北京
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“介质窗结构及等离子刻蚀机”的专利，公开号CN120033051A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，一种介质窗结构及等离子刻蚀机，其中介质窗结构包括：介质窗本体；设置于所述介质窗本体上的匀气组件，所述匀气组件可通过转动选择性区域化的朝向所述介质窗本体的表面输送散热气体。通过设置于所述介质窗本体上的匀气组件，所述匀气组件可通过转动选择性区域化的朝向所述介质窗本体的表面输送散热气体，进而能够对所述介质窗本体进行精细化的区域性散热，能够有效防止所述介质窗本体的局部问题过大而产生的温差较大的问题，以此实现对所述介质窗结构的保护作用，同时精确控制所述介质窗本体的表面的温度分布，还能够有利于改善等离子体的均匀分布，进而提升对衬底片表面的均匀刻蚀、以及抑制所述介质窗本体表面聚合物的形成倾向。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目222次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息425条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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