北京
金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，苏州山河光电科技有限公司申请一项名为“掩模版版图的修正方法、掩模版、超表面结构”的专利，公开号CN120029001A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种掩模版版图的修正方法、掩模版及超表面结构，定义一具有相正交的X轴、Y轴的直角坐标系；所述修正方法包括如下步骤：获取初始版图，所述初始版图具有与目标超表面结构中的预设微纳单元一一对应的初始图形；将初始图形修正为由至少一个修正矩形组成的修正图形，所述修正矩形相邻的两个边分别沿X轴、Y轴延伸，修正后的掩模版版图中的修正图形能够兼容光刻加工过程中的版图导入，能够制备出用于生产光刻工艺所需的掩模版，采用该掩模版在平面光学介质材料上经光刻工艺获得目标超表面结构，如偏振相关型的超表面结构，有利于偏振相关型的超表面结构的量产。
天眼查资料显示，苏州山河光电科技有限公司，成立于2020年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本330万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州山河光电科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息9条，专利信息147条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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