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金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“微波热处理装置以及阻抗匹配方法”的专利，公开号CN120033052A，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本发明公开了一种微波热处理装置以及阻抗匹配方法，阻抗匹配方法包括：基于针对热处理工艺的预先匹配数据而初步调整所述微波电源和所述腔室之间的调谐器电路的阻抗的步骤；通过所述初步调整的所述调谐器电路从所述微波电源朝向所述腔室施加微波电力的步骤；测定与被施加所述微波电力的所述腔室的阻抗相关的工艺数据的步骤；通过比较所述工艺数据和所述预先匹配数据而确定所述调谐器电路的阻抗调谐值的步骤；以及根据所述阻抗调谐值调整所述调谐器电路的阻抗的步骤。
本文源自：金融界
作者：情报员
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