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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，维耶尔公司申请一项名为“用于微装置检验的探针结构”的专利，公开号CN120009582A，申请日期为2020年02月。
专利摘要显示，一种探针卡组合件包括：衬底；一或多个探针单元，其与所述衬底接触，每一探针单元包括：电极，其经集成于所述衬底上；桥接器，其经形成于所述电极之上以包括力传感器；探针，其具有经连接到所述桥接器的探针尖端，所述探针经偏置以允许测量经安置于晶片上的微装置的至少一个属性。所述探针卡中的探针阵列用于通过以下各者来测试微装置：使所述阵列与衬底上的对应微装置对准；将所述探针卡移动到所述微装置；使至少一个探针偏置以允许测量所述微装置的至少一个属性；监测至少一个属性的改变；及通过所述微装置的至少一个属性的所述改变来检测到所述微装置的连接。
本文源自：金融界
作者：情报员
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