凯世通低能大束流设备树立量产新标杆

5月16日，凯世通在上海浦东新区隆重举办国产低能大束流离子注入机 12 英寸晶圆产品片过货量突破 500 万片的庆典。这标志着凯世通在该领域实现了从样机研发到规模量产的关键跨越，打破了国际巨头的长期垄断，为我国芯片制造自主可控做出了重要贡献。

离子注入机作为芯片制造的三大关键装备之一，技术开发难度极高，仅次于光刻机，其中低能大束流离子注入机的市场规模最大且产业化难度极高。自 2020 年交付首台设备以来，凯世通坚持自主研发和原创设计，攻克了众多技术难题，实现了关键部件国产化，攻克电性能关键工艺及 28 纳米工艺全覆盖，成功支撑了国内 10 余家主流 12 英寸集成电路产线的安全量产，覆盖了先进逻辑、先进存储、CIS 图像传感器以及功率芯片四大核心领域，更以“每月等效 2 个月”的研发效率，跑出了凯世通速度，不断刷新低能大束流离子注入机产线安全量产数据新高度，探索国产化应用的无人区。

活动现场，客户代表向凯世通授予了 “凯世通速度” 书法作品，以表彰其在技术研发和量产方面的卓越成就，并希望凯世通能够继续保持这种高效的研发速度，加快新一代产品研发以及达成更大规模的量产，推出更多引领国产离子注入机发展的新产品。

先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会表示，在当前的国际局势及产业环境下，过货量突破 500 万片具有重要的战略价值，体现了凯世通服务客户安全量产的能力，也凝聚了团队的坚守与拼搏，凯世通将继续秉持 “科技报国” 初心，紧密围绕客户需求，聚焦“硬卡替”环节，加快核心技术攻坚，满足国内集成电路客户的量产需求。

与此同时，先导科技集团基于全产业链优势，从材料、零部件及维保、量测、终端应用等多维度正在加快赋能凯世通发展，助力凯世通进一步做大做强，服务国内集成电路产业高质量快速发展。

凯世通总经理陈克禄博士指出，这一里程碑的实现是凯世通自主研发能力和机台产品力的实证，也是公司系统性能力提升的体现。公司成立以来在技术研发、现场服务、生产能力、供应链体系、质量管控等全方位能力体系建设上取得显著进步，从年产量几千片到如今的 500 万片，凯世通仅用五年时间就实现了国产离子注入机从图纸走向产线，从 “可用” 到 “好用” 的转变。

凯世通副总经理、首席技术官夏世伟强调，离子注入机是大国重器，凯世通如今达成的里程碑标志着公司从研发阶段迈入安全稳定、可靠量产的国产化之路。未来，凯世通团队始终坚持创新精神和工匠精神，以服务客户量产为导向，实现国产大束流机台产能的持续提升，开启国产化之路的新篇章。

庆典尾声，各界伙伴与凯世通团队在 500 万片纪念晶圆上留下手印，象征产业链协同创新、共护“中国芯”的决心。凯世通的这一成就不仅是其自身发展的里程碑，也为中国集成电路产业的自主可控发展注入了强大动力。

凯世通的突破不仅填补了国产离子注入机的空白，更推动了该设备从“0到1”研发到“1到N”量产的跨越。随着全球供应链不确定性加剧，国产设备的规模化替代将成为保障产业链安全的关键。未来，凯世通计划加快新一代产品开发，进一步覆盖更先进制程，助力中国集成电路产业高质量突围。