北京
金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，江苏汉可智能装备有限公司申请一项名为“一种制备低温氮化硅薄膜的方法及设备”的专利，公开号CN119980185A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明涉及一种制备低温氮化硅薄膜的方法，该方法使用热丝化学气相沉积技术，包括：将衬底放置于载板上并将载板送入真空反应腔室内；向真空反应腔室内通入所需的工艺气体，其中工艺气体包括：氨气和氮气中的任一个或两者、氢气和硅烷；动态调整热丝的温度，在衬底上沉积得到所需的氮化硅薄膜。此外，本发明还涉及一种采用上述制备低温氮化硅薄膜的方法进行低温氮化硅薄膜制备的设备。本发明采用了热丝化学气相沉积技术，能够实现在衬底温度处于室温以上时制备致密的氮化硅薄膜，极大提高了设备适用领域，本发明可以在合适的气压下生产出保持较低衬底温度条件下沉积的氮化硅薄膜，有利于光伏领域的HBC电池和钙钛矿电池的制造。
天眼查资料显示，江苏汉可智能装备有限公司，成立于2024年，位于南通市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1720万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏汉可智能装备有限公司参与招投标项目1次，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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