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金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于微光刻照明系统中分面镜的系统整合校准的配置、方法和计算机程序产品”的专利，公开号CN119895334A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明有关用于微光刻照明系统（20）中分面镜（18、19）的系统整合校准的配置（100）、方法和计算机程序产品。定义了经由在校准辐射源装置（101）与校准辐射传感器装置（102）之间的分面镜（18、19）引导的校准射束路径（103、104），由微反射镜（18’）构成的单一分面镜（18）中只有一个可枢转的微反射镜（18’）涉入校准射束路径的每一者中。通过使涉入已定义校准射束路径（103、104）的微反射镜（18’）枢转，可基于该校准辐射传感器装置（102）找到具体最佳枢轴位置，其微反射镜（18’）的基本取向也可通过几何计算来得出。通过将计算出的取向与微反射镜（18’）处的取向传感器所确定的取向进行比较，可校准该分面镜（18）的微反射镜（18’）的取向传感器。
本文源自：金融界
作者：情报员
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