北京
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金融界 2025 年 5 月 1 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于管线吹扫的方法和系统”的专利，公开号 CN119876902A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，公开了用于在沉积设备和相关系统中吹扫的方法。本公开的实施例包括测量排气流中的前体残余物浓度，并且当排气流中的前体残余物浓度等于或低于参考前体残余物浓度时，结束吹扫。
本文源自：金融界
作者：情报员
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