金融界2025年4月26日消息,国家知识产权局信息显示,无锡晶名光电科技有限公司申请一项名为“一种扩散炉多温区晶圆扩散装置及工艺”的专利,公开号CN119859853A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆扩散多温控制技术领域,具体为一种扩散炉多温区晶圆扩散装置及工艺,包括:扩散炉本体侧面设置有密封板,密封板内设置有石英管,扩散炉本体内侧面设置有电动推杆,电动推杆一端设置有安装板,安装板表面设置有支撑杆,支撑杆侧方设置有驱动电机,定位环表面安装有定位板,定位板表面设置有加热管;有益效果为:首先可启动驱动电机配合着齿轮与齿环的啮合作用带动多组加热管进行转动,当加热管转动到合适的位置后,就可启动电动推杆对支撑杆进行推动,从而就可使对应温度的加热管套设在石英管上,然后就可通过控制面板控制加热器进行工作,从而就可使加热管对石英管内的晶圆进行加热进行温度扩散处理。
天眼查资料显示,无锡晶名光电科技有限公司,成立于2020年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本410.67万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡晶名光电科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息29条,此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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