金融界2025年4月22日消息,国家知识产权局信息显示,苏州八术激光技术有限公司申请一项名为“一种用于碳化硅晶圆的激光退火装置”的专利,公开号CN119852234A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明属于半导体制造技术领域,且公开了一种用于碳化硅晶圆的激光退火装置,包括壳体,所述壳体的内壁设置有激光加热模块,所述壳体的内壁通过缓冲机构设置有晶圆托盘,所述晶圆托盘的内壁设置有固定机构,所述晶圆托盘的底端外壁设置有连接机构;所述连接机构包括连接块,所述连接块的内壁通过连接弹簧弹性连接有移动块,所述移动块的外壁固定连接有把手,所述移动块的外壁固定连接有梯形块,所述连接块的内壁滑动连接有滑杆,所述连接块的内壁滑动连接有限位块;本发明通过设置梯形块和限位块等结构的配合,对晶圆托盘的使用数量可较为灵活的调节,且拼接与拆分的过程较为方便快捷,进而提高了晶圆托盘使用的灵活性。
天眼查资料显示,苏州八术激光技术有限公司,成立于2020年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州八术激光技术有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目3次,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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