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金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“制造方法、基板加工方法和基板加工装置”的专利，公开号CN119852204A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种制造方法、基板加工方法和基板加工装置，该制造方法包括：基板装载操作，该基板装载操作将基板装载到液体处理腔室中；液体处理操作，该液体处理操作通过喷嘴将处理溶液供应到液体处理腔室中旋转的基板；基板卸载操作，该基板卸载操作从液体处理腔室卸载基板；以及压力控制操作，该压力控制操作在基板装载操作与基板卸载操作之间的时段中改变基板上方的空间的压力至少一次。
本文源自：金融界
作者：情报员
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