北京
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金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于静电吸盘的真空密封”的专利，公开号CN119856274A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，示例性基板支撑组件可以包括静电吸盘主体。主体可以包括限定基板支撑表面的支撑板。主体可包括与支撑板耦合的基底板。基底板的底表面可以限定环形凹槽。主体可包括与基底板耦合的冷却板。组件可以包括与主体耦合的支撑柄。组件可以包括嵌入主体内的加热器。组件可包括嵌入主体内的一个或多个电极。组件可包括设置在环形凹槽内的环形板。环形板的导热系数可以小于约20W/mK。所述组件可包括设置在环形板与冷却板之间的真空密封元件。所述组件可包括径向向内设置在真空密封元件内的热垫圈。
本文源自：金融界
作者：情报员
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