金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,北京精恒工控科技有限公司申请一项名为“用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统”的专利,公开号CN119839457A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明涉及激光刻蚀技术领域,公开了用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统,该方法包括:基于石英晶体初始应力分布生成双面互补刻蚀路径。同步控制正反面激光能量输入,以使双面热应力场形成动态平衡。基于光谱分析实时获取刻蚀区域的应力梯度分布。根据应力梯度与目标阈值的偏差量,动态调整激光加工参数组合,并在终局加工阶段启动形貌‑应力耦合优化模式。本发明通过精准控制激光加工过程中的热应力平衡和应力梯度分布,能够有效减小石英晶体的残余应力,优化其形貌和性能,从而提高加工精度、材料稳定性和器件可靠性。
天眼查资料显示,北京精恒工控科技有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,北京精恒工控科技有限公司参与招投标项目16次,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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