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金融界2025年4月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“38699.一种炉管进气装置及炉管设备”的专利，授权公告号CN222770952U，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种炉管进气装置及炉管设备，包括：进气管，设于反应腔室内的一侧，所述进气管包括纵向设置并相连的第一进气支管和第二进气支管，所述第二进气支管的下端连接设于所述反应腔室上的进气口，所述第一进气支管的管壁上设有沿轴向排布并与所述反应腔室内部连通的多个第一气孔，所述第一进气支管的上端在所述第二进气支管的上端处与所述第二进气支管的内部连通。本实用新型能够同时提高片内均匀性和片间均匀性。
天眼查资料显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息446条，此外企业还拥有行政许可211个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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