北京
金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，河北美泰电子科技有限公司申请一项名为“小型化MEMS腔体滤波器及其制备方法”的专利，公开号 CN 119786930 A，申请日期为 2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种小型化MEMS腔体滤波器及其制备方法，属于射频MEMS器件技术领域，采用MEMS滤波器制备工艺，首先通过深腔刻蚀的方法，在下层硅片的下表面刻蚀空气腔，作为后续高介电介质块的嵌入腔体；然后在下层硅片的上下表面进行金属化图形制备。在上层硅片的上下表面制备金属化图形；再将上层硅片和下层硅片通过晶圆级键合的方法进行键合，形成MEMS腔体滤波器的基本结构；最后，将与下层硅片空气腔相当的高介电介质块嵌入到空气腔内，然后采用共晶工艺与可伐/钼铜载体焊接到一起，最终形成小型化MEMS腔体滤波器，具有小型化、小损耗、高矩形比、高可靠、高一致性、高精度、高集成度、全屏蔽、抗干扰的特点。
天眼查资料显示，河北美泰电子科技有限公司，成立于2011年，位于石家庄市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3299.955万人民币，实缴资本3299.955万人民币。通过天眼查大数据分析，河北美泰电子科技有限公司参与招投标项目145次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息113条，此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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