北京
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金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于监测束轮廓和功率的方法和装置”的专利，公开号 CN 119764149 A，申请日期为 2019年8月。
专利摘要显示，提供了一种用于在检查系统中监测束(322)的系统和方法。该系统包括：被配置为收集形成在表面(340)上的束的束斑的图像序列的图像传感器(360)，图像序列中的每个图像已经在图像传感器的不同曝光时间被收集；以及被配置为组合图像序列以得出束的束轮廓的控制器(380)。
本文源自：金融界
作者：情报员
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