北京
金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，深圳十沣科技有限公司申请一项名为“一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质”的专利，公开号 CN 119763693 A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明所提供的一种离子能量角度分布确定方法、装置、终端及存储介质，属于芯片制造技术领域，所述方法包括：获取并基于目标电容耦合等离子体腔室的几何参数、背景气体参数和表面材料参数，建立流体模型，求解流体模型得到电离速率时空分布和电磁场时空分布；获取离子碰撞截面数据；迭代的模拟生成离子、离子运动以及离子和背景气体分子的碰撞，直至满足结束条件，得到抵达基板离子的离子能量角度分布。本发明利用流体模型计算得到的电离速率生成新离子，避免了模拟电离过程；利用流体模型计算得到的电磁场驱动粒子运动，避免电荷密度的计算和电磁场的求解，可解决粒子与场的反复耦合问题，有效降低了确定抵达基板离子的能量角度分布的时间。
天眼查资料显示，深圳十沣科技有限公司，成立于2020年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1672.9421万人民币，实缴资本952.7555万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳十沣科技有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目105次，财产线索方面有商标信息63条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可16个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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