金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“坩埚托支撑轴装置”的专利,公开号CN 119753854 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种坩埚托支撑轴装置,包括:支架,设有竖直方向的第一导向部件;上滑座,导引于所述第一导向部件,且上滑座设有座孔;转盘,通过轴承安装在所述座孔,并具有中心孔;支撑轴,用于支撑坩埚托;下滑座导引于所述第导向部件所述支撑轴的下端通过回转副安装在所述下滑座上;第一驱动装置;以及第二驱动装置;上波纹管,上端用于与工艺腔室的下炉口间连接,下端与所述上滑座间连接,并与所述支撑轴共轴线。依据本发明的坩埚托支撑轴装置适应性相对比较好。
天眼查资料显示,山东力冠微电子装备有限公司,成立于2013年,位于济南市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币,实缴资本150万人民币。通过天眼查大数据分析,山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目75次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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