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金融界2025年4月2日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于样本方案生成与优化的方法”的专利，公开号CN 119739008 A，申请日期为2019年12月。
专利摘要显示，一种用于样本方案(624)生成的方法，具有以下步骤：获取(606)与位置的集合相关联的测量数据(608)；分析(610)测量数据以确定位置的统计上不同的组；以及基于统计上不同的组来配置(614)样本方案生成算法(622)。一种方法，包括：获取与跨一个或多个基底的样本方案相关联的约束(618)和/或多个关键性能指标(620)；以及在包括多目标遗传算法(622)的样本方案生成算法中使用约束(618)和/或多个关键性能指标(620)。位置可定义跨越跨一个或多个基底的多个场的一个或多个区域，并且分析(610)测量数据的步骤可以包括使用不同的相应子采样来跨所跨越的多个场进行堆叠。
本文源自：金融界
作者：情报员
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