四川
“成都造”又添强将。国内工业窑炉及配套设备行业龙头企业，将在蓉建设智能高端热工装备西南制造基地。
4月1日，红星新闻记者从成都产投集团下属科创投资集团获悉，3月31日，该集团主导管理的成都华智机器人产业投资基金合伙企业（有限合伙）完成了对江苏博涛智能热工股份有限公司（简称“博涛热工”）的投资。目前，博涛热工已在成都市成华区注册全资子公司——成都博涛创芯科技有限公司（以下简称“博涛创芯”）。
博涛热工工业窑炉设备示意图
接下来，博涛创芯将入驻成都市龙潭工业机器人产业功能区，总投资约3亿元，建设集总部研发、装备制造、集成应用、销售结算、技术支持等于一体的博涛智能高端热工装备西南制造基地。
博涛热工主要从事热工解决方案及其配套装备的研发和销售，总部位于江苏常熟市，是国家级专精特新“小巨人”企业。作为工业窑炉及配套设备行业的龙头企业，博涛热工凭借领先的产品和技术在行业内形成了较高的市场地位和良好的品牌声誉。
博涛智能高端热工装备西南制造基地主要建设内容为研发中心及工业厂房，主要产品是泛半导体高温制程解决方案及其配套装备，包括平板显示用PECVD装备、太阳能电池用PECVD/ALD装备、半导体用APCVD/LPCVD/PECVD/ALD装备、硅基与碳化硅晶体生长炉装备等，预计将在2025年启动建设，2027年正式投入生产。
博涛智能泛半导体设备示意图
目前成都已初步形成了IC设计、晶圆制造、封测、材料与配套、系统与整机等相对完整的产业体系，但服务于集成电路及显示面板制造的设备配套生产企业仍是强链补链的重点。
“接下来，我们将促进博涛创芯顺利落地投产。”科创投资集团相关负责人表示，此次该集团携手成华区投资博涛热工并落地博涛智能高端热工装备西南制造基地，将有望补足成都泛半导体产业设备制造链，支撑产业建圈强链。
红星新闻记者 林聪
编辑 成序
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