金融界2025年4月1日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“控制低电阻重掺单晶电阻率下降幅度的方法”的专利,公开号 CN 119736706 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种控制重掺单晶电阻率下降幅度的方法,涉及重掺拉晶技术领域,拉晶过程中,在固化率之后,通过拉速、压力、氩气共同调节,以拉制电阻率位于低电阻以下时,要求电阻率下降幅度≤0.4m Ω 的晶棒;其中:拉速保持不变,单位压力变化幅度在5Kpa/100mm‑30Kpa/100mm,单位氩气变化幅度在10slm/100mm‑40slm/100mm之间,由于目前工艺无法直接得到头部电阻为低电阻故通过在一定固化率后,当晶棒电阻率达到低电阻时,通过拉速、压力、氩气共同调节,使得合格率提高,同时稳定性得到提升,标准差降低(N=10)。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本150000万人民币,实缴资本9000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息270条,此外企业还拥有行政许可22个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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