北京
金融界2025年3月31日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司取得一项名为“一种晶圆的快速热处理设备”的专利，授权公告号 CN 222690661 U，申请日期为 2024 年 6 月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆的快速热处理设备，包括工艺腔室，工艺腔室设置有进气口、出气口、上加热装置、下加热装置和晶圆加热处理台；晶圆加热处理台自下加热装置向上加热装置的方向依次设置气浮驱动机构和转台，转台设置于气浮驱动机构的上方并通过一转轴与下加热装置连接，气浮驱动机构可驱动转台为气浮状并相对转轴进行旋转，转台上设置有至少三个用于支撑在晶圆的外围周向上的支撑柱，支撑柱端部呈 L 型，L 型端部的平台处用于放置晶圆的边缘，竖直部分用于限位晶圆，防止支撑柱与晶圆之间产生相对滑动，减小支撑柱磨损，不需要定期更换，节约成本。支撑柱只支撑在晶圆的外围周向上，不会影响晶圆内的温度均匀性，保证了晶圆的温度均匀性。
天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币，实缴资本301000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可166个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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