新凯来引爆光刻机概念！打破国外垄断的6家公司，有望大涨1000%！

炸醒半导体圈！

在 3 月 26 日举办的上海国际半导体展览（SEMICON China 2025）上，新凯来工业机器有限公司成为焦点。据其公司官网信息，新凯来首次公开亮相，便一口气推出 31 款半导体设备，覆盖从扩散、刻蚀到量检测等芯片制造全流程。

中信证券分析称，若新凯来设备通过中芯国际验证，相关供应商估值有望提升 30%。新凯来由深圳国资全资控股，技术实力强劲。新凯来此次突破，不仅展示了国产半导体设备的技术飞跃，更对光刻机概念的市场走向影响深远。

本期我们将梳理新凯来产业链公司，筛选出技术突破，打破国外技术垄断的6家公司，供大家研究参考。

特别声明：以下内容绝不构成任何投资建议、引导或承诺，仅供学术研讨。

第一家 新莱应材（300260）

技术突破：自主研发的 AdvanTorr真空阀门、法兰等产品，真空度达 10⁻¹² Torr，适配 7nm 及以下先进制程；NanoPure超高纯气体管路系统通过 ASML 认证。

打破垄断：日本 Edwards、德国 Pfeiffer

核心优势：国内半导体设备零部件国产化率不足 15%，公司在真空阀门、气体系统领域市占率超 30%，客户包括中芯国际、长江存储；2024 年三季度因新凯来订单增加，相关业务规模达 8000 万元，为其 RTP、DPN 设备提供超高洁净管路系统。

第二家至纯科技（603690）

技术突破：湿法设备技术覆盖28nm节点并率先突破14nm以下制程，单片高温硫酸设备单机量产达50万次。2024年湿法设备新签订单超6亿元，同比增长显著。

打破垄断：美国应用材料（AMAT）、日本东京电子（TEL）

核心优势：平台型布局覆盖湿法设备、气体供应等全产业链，研发投入占比超7%，技术指标达国际领先水平。

第三家华特气体（688268）

技术突破：光刻混合气通过ASML和GIGAPHOTON认证，成为国内唯一获此资质的气体公司；高纯氟碳气体纯度达99.9997%，打破进口垄断。

打破垄断：美国普莱克斯（Praxair）、德国林德（Linde）

核心优势：200+种特种气体产品矩阵，参与制定48项国家标准，技术壁垒高且认证周期长。

第四家奥普光电（002338）

技术突破：与长光辰芯合作研发全国产化工业相机，打破国外垄断；光刻机曝光系统核心部件通过验证，适配DUV光刻机。

打破垄断：德国海德汉（Heidenhain）

核心优势：光机电一体化技术领先，产品应用于“神舟”“天宫”等重大工程，客户包括中芯国际、华为；产品通过 ASME BPE、ISO 14644-1 等国际认证，技术参数对标全球龙头。

第五家富创精密（688409）

技术突破：7nm制程工艺零部件量产，产品覆盖光刻机、刻蚀机等核心设备，性能达国际水平。

打破垄断：美国 Brooks、日本 Horiba

核心优势：平台型企业覆盖全产业链，研发投入占比7%，专利超50项，深度绑定中芯国际、台积电。

第六家行业领军企业

技术突破：臭氧清洗设备应用于CVD、ALD等工艺，污染物去除效率提升30%，进入中芯国际验证阶段。

打破垄断：美国 Ozone Solutions、日本三菱

核心优势：臭氧技术自主可控，布局半导体清洗、光伏等新赛道，政策支持推动国产替代加速。

作为国内臭氧行业领军企业，国林科技凭借 30 年技术沉淀，持续斩获重磅订单，涵盖市政水务、工业废水处理、烟气脱硝等核心领域；想知晓名字的莱 炂 纵㞻:抖股吧，既可以知晓！2024 年公司营收同比增长 31.35% 至 3.45 亿元，展现强劲增长韧性

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