北京
金融界2025年3月27日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“卷径检测组件及基板研磨装置”的专利，公开号CN 119681777 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体基板研磨技术领域。本发明的一个实施例提供了一种卷带卷径检测组件，用于实时地检测卷带的卷径。其包括摆动件，所述摆动件摆动地设置在所述卷带的一侧；压部，设置在所述摆动件上，用于适应性地压在卷带的周面上；测角传感器，其用于测量所述摆动件的摆动角度。本发明的另一实施例提供了一种基板研磨装置，在对基板研磨时实时测量卷带的卷径，并依据卷径调整释放和/或收卷的扭矩。本发明解决了晶圆研磨控制精度存在波动导致产品精度变差的技术问题。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币，实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目217次，财产线索方面有商标信息64条，专利信息652条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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