北京
金融界2025年3月24日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“化学机械抛光设备”的专利，公开号 CN 119658577 A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请公开一种化学机械抛光设备，包括：支撑结构和限位组件，支撑结构设置在修整器所在的晶圆加工腔室的腔壁上，限位组件设置在修整器包括的支撑部与修整器包括的摆臂之间；限位组件，用于当摆臂以支撑部所在的位置为圆心旋转至极限位置时，与支撑结构接触，以对摆臂进行限位，其中，极限位置用于指示摆臂的远端与腔壁的距离小于距离阈值时，摆臂相对于初始位置旋转的角度。本申请通过设置支撑结构和限位组件，能够对转动至极限位置的摆臂进行限位因此即使电机飞车转速突然失控等情况发生，摆臂也不会转动超过极限位置，进而避免摆臂撞击机台内部结构。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币，实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目217次，财产线索方面有商标信息64条，专利信息649条，此外企业还拥有行政许可29个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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