北京
金融界2025年3月21日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN 119642743 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质。晶圆检测系统包括：激光光源、晶圆运动模块和位置探测模块；激光光源用于发出探测激光晶圆运动模块用于反射探测激光生成反射激光位置探测模块用于接收反射激光；检测方法包括：获取探测激光与晶圆运动模块的第一夹角和反射激光与位置探测模块的第二夹角；获取晶圆运动模块运动时反射激光在位置探测模块上的移动距离；根据第一夹角、第二夹角以及移动距离计算晶圆运动模块的运动状态参数；运动状态参数包括倾斜角度和振幅。采用上述技术方案，简单高效的计算出晶圆运动模块的运动状态参数，以便工作人员对晶圆运动模块进行校准，进而提升晶圆检测精度。
天眼查资料显示，无锡卓海科技股份有限公司，成立于2009年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币，实缴资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目85次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息134条，此外企业还拥有行政许可42个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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