北京
金融界2025年3月20日消息，国家知识产权局信息显示，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司申请一项名为“一种SiCN扩散阻挡层的制备方法”的专利，公开号CN 119640238 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明属于集成电路制造技术领域，具体涉及一种SiCN扩散阻挡层的制备方法，将三甲基硅烷、氘代氨和乙硅烷通过等离子气相沉积的方法制备SiCN扩散阻挡层，本申请采用氘代氨代替氨气制备SiCN扩散阻挡层，使得氘代氨在参与SiCN扩散阻挡层的制备过程中，能够影响材料的微观结构和组成，从而在退火处理后表现出更低的缺陷度。同时，乙硅烷的引入促进了腔室内各反应气体的均匀分布，减少了局部浓度差异，进而使得阻挡层的表面更加光滑、平整有效地提高了阻挡层的表面平整度。
天眼查资料显示，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司，成立于2016年，位于邯郸市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本52941.1765万人民币，实缴资本45000万人民币。通过天眼查大数据分析，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目5000次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息710条，此外企业还拥有行政许可139个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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