北京
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金融界2025年2月13日消息，国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“基板处理装置和基板处理方法”的专利，公开号CN 119400724 A，申请日期为2019年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基板处理装置和基板处理方法，基板处理装置包括：腔室；基板支撑单元，基板支撑单元安装在腔室内部的处理空间中以使得一个或多个基板能够旋转；第一气体喷射单元，用于在处理空间的第一区域上喷射源气体；第二气体喷射单元，用于在处理空间的第二区域上喷射反应气体，反应气体在第二区域上与源气体发生反应；以及第三气体喷射单元，用于在第三区域上喷射净化气体，净化气体划分第一区域和第二区域，其中等离子体形成在第二区域中。
本文源自：金融界
作者：情报员
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