北京
金融界2025年2月13日消息，国家知识产权局信息显示，蓝河科技（绍兴）有限公司申请一项名为“半导体加工系统及其处理方法”的专利，公开号CN 119400745 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体加工系统及其处理方法，半导体加工系统包括转运装置、前置处理室、至少两个工艺室、主控装置和托运装置，至少有两个工艺室容纳不同尺寸的基座，托运装置包括用于承载基座的缓存装置，缓存装置包括可调节尺寸的承载区域。半导体加工系统处理方法包括主控装置根据获取并接收到的转运装置的信息或至少一工艺室的信息判断需要转入基座的工艺室后，根据待转入基座的工艺室能容纳基座的基座尺寸信息控制缓存装置调整承载区域的尺寸，然后将对应的基座放置在承载区域上，主控装置控制托运装置带动基座进入前置处理室，将对不同尺寸基座向前置处理室的的转运流程集成在一条产线上进行，提高产线集成度。
天眼查资料显示，蓝河科技（绍兴）有限公司，成立于2020年，位于绍兴市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本417.956504万人民币，实缴资本402.878394万人民币。通过天眼查大数据分析，蓝河科技（绍兴）有限公司共对外投资了4家企业，知识产权方面有商标信息6条，专利信息21条。
本文源自：金融界
作者：情报员
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