河北
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成果名称
白光干涉仪（光学轮廓仪）
项目来源
西安交通大学国家技术转移中心
成果介绍
Xshape-I 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D检测仪器， 针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。目前在高端制造业应用有： 半导体晶圆检测、超精密光学元件制造、微机电系统 MEMS 检测、高端机械装 备制造、微电子表面涂层、薄膜制造等。
Xshape-I 系列白光干涉仪配备 WLI 白光干涉分析软件，软件依据面粗糙度标准 ISO25178，线粗糙度标准 ISO4287，以及几何技术规范 ISO12781。 软件特点： 1. 软件操作简便，易学易用，实用性强 2. 包括 VSI 和 PSI 两种三维形貌检测算法 3. 可以方便快捷检测多种类型表面的形貌相关参数 4. 具有自动三维图像拼接功能 软件功能：1. 相机打开，以及相机的参数设置 2. 物镜扫描器的设置以及控制 3. XY 工作台以及 Z 轴调焦的移动控制与设定 4. 软件具有 VSI 和 PSI 两种算法功能，以针对不同形貌表面的检测 5. 软件采集图像完成后可自动计算出表面三维形貌 6. 自动计算出面粗糙度参数。划线选择分析截面的位置，计算出截面位置的轮廓参数 7. 可测量单一视场的三维形貌，也可通过图像拼接实现大范围的三维形貌检测8. 软件有图像的调整，滤波，轮廓提取，噪声拟制等数据处理功能9. 表面三维形貌的解包裹，以及三维形貌的调平 10. 三维轮廓截面的提取，以及形貌的参数的检测
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