金融界2025年1月17日消息,国家知识产权局信息显示,北京特思迪半导体设备有限公司取得一项名为“一种侧向定位机构”的专利,授权公告号CN 222345194 U,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本申请提供一种侧向定位机构,属于半导体加工设备技术领域,包括:基座;定位轴;导向轮,安装在定位轴端部,导向轮具有随定位轴上下滑动的工作位置及非工作位置,在工作位置,导向轮与定位轮配合对放置在研磨盘上的晶圆承载盘进行定位。机械手将带有晶圆的承载盘放置在研磨盘上后,研磨盘旋转过程中带动承载盘一同进行旋转移动,承载盘分别抵接至导向轮和定位轮上,导向轮和定位轮会阻挡承载盘跟随研磨盘继续转动,承载盘会被限制在导向轮与定位轮处,从而实现对承载盘的定位,使得研磨头每次都可以移动至导向轮与定位轮限制承载盘的位置,快速对准承载盘,对晶圆进行研磨,缩短了研磨头与晶圆的对准时间,提高了晶圆的研磨效率。
天眼查资料显示,北京特思迪半导体设备有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1656.925954万人民币,实缴资本712.235754万人民币。通过天眼查大数据分析,北京特思迪半导体设备有限公司参与招投标项目99次,知识产权方面有商标信息32条,专利信息117条,此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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