北京
金融界2025年1月8日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“多晶硅栅极间距的工艺窗口电性测试结构、组件及测试方法”的专利，公开号CN 119252829 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种多晶硅栅极间距的工艺窗口电性测试结构，放置于切割道内，至少包括一正式测试结构，正式测试结构包括N阱电阻参考测试结构和多晶硅栅极电阻测试结构，N阱电阻参考测试结构包括有源区内的呈矩形的N阱电阻，以及位于N阱电阻两端的第一和第二测试引出端，第一和第二测试引出端分别与第一和第二测试焊盘电性连通；多晶硅栅极电阻测试结构包括N阱电阻参考测试结构和位于N阱电阻上方的至少两长条形的平行布设的多晶硅和位于N阱电阻和两多晶硅两端的第三和第四测试引出端，第三和第四测试引出端分别与第三和第四测试焊盘电性连通。该方案实现了对多晶硅栅极间金属硅化物制备工艺进行无损测试，降低了成本，提升了监测的便利性。
天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本652000万人民币，实缴资本301000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目35次，知识产权方面有商标信息46条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可123个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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