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金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司申请一项名为“一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法”的专利，公开号CN 119170541 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法，涉及半导体技术领域，至少包括主供应结构和传输组件；所述传输组件包括供气管路和传输部，所述供气管路两端分别连通于主供应结构和传输部，所述传输部包括至少两组气路；其中，所述主供应结构的气体经过所述供气管路传输至所述传输部，所述传输部分别为至少两个末端执行器中的耗气元件进行供气，所述传输部将所述供气管路的固定供气方式转化为旋转供气方式，所述传输部中的每组气路之间可发生相对旋转，使得每组气路随着每个末端执行器的无限回转进行适应动作。本发明主要用于晶圆的搬运过程，其中供气组件至少能够解决末端执行器转动导致气路缠绕的技术问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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