金融界2024年12月23日消息,国家知识产权局信息显示,兆易创新科技集团股份有限公司申请一项名为“种半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN 119156009 A,申请日期为2023年6月。
专利摘要显示,本公开提供了一种半导体结构及其制造方法,涉及半导体制造工艺技术领域。该方法包括:提供衬底,衬底上形成有存储区域,存储区域形成有存储晶体管的栅极结构;对对应于存储晶体管源极的存储区域的衬底上部,通过第一制备工艺形成存储晶体管的源极;通过第二制备工艺形成存储晶体管的漏极触点和源极触点,其中,第一制备工艺与第二制备工艺不同。本公开能够有效降低半导体结构存储单元的尺寸。
本文源自:金融界
作者:情报员
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