金融界2024年12月20日消息,国家知识产权局信息显示,中建材玻璃新材料研究院集团有限公司申请一项名为“一种增透高透薄膜及其制备方法”的专利,公开号CN 119144925 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种增透高透薄膜及其制备方法,其特征在于:(1)选普通玻璃为衬底,依次用丙酮、酒精、去离子水进行超声清洗,吹干;(2)将玻璃置于样品架上,用Ar离子轰击靶材,控制真空度为2.0×10‑1Pa;(3)在玻璃上采用磁控溅射法镀制二氧化钛和二氧化硅掺杂层,二氧化钛为直流电源溅射功率为215W,二氧化硅为射频电源溅射功率为75W‑150W,同时溅射。镀制TiO2时采用金属Ti为靶材,镀制SiO2时采用Si靶,直流电源Ti靶与射频电源Si靶同时镀制,通入氩气30sccm、氧气3sccm;(4)采用磁控溅射法继续镀制二氧化硅层,采用Si靶,射频电源功率为100W 通入氩气30sccm 氧气3sccm 本发明优点制备的增透高透薄膜在500nm的透过率高达99.5%,在500nm‑600nm的透过率平均在97.4%之上。
本文源自:金融界
作者:情报员
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