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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，基迈克材料科技（苏州）有限公司申请一项名为“一种重型金属立式旋转靶材热镶配绑定方法”的专利，公开号CN 119121143 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种重型金属立式旋转靶材热镶配绑定方法，涉及溅射镀膜领域，旨在解决焊料绑定时脱靶或焊料外溢的问题，方案为S1、背管喷砂：对背管外径进行喷砂；S2、背管电弧：选用纯度≥2N5，直径1.6‑2mm的电弧NiAl丝，NiAl比例为95±1：5±1wt％，电流80‑120A，电压30‑80V进行电弧；S3、靶管喷砂：靶管内径喷砂；S4、靶管电弧：选用纯度≥3N，直径1.6‑2mm的电弧ZnSn丝，ZnSn比例为90±1：10±1wt％，电流60‑100A，电压20‑40V进行电弧；S5、靶管加热；S6、靶管背管热镶配：将背管移入靶管内使之与靶管相对位置匹配后移入冷却水槽进行冷却贴合。本发明的一种重型金属立式旋转靶材热镶配绑定方法使其镀膜过程中可承受重量较大的靶管而不脱落。
本文源自：金融界
作者：情报员
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