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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，中山智隆新材料科技有限公司申请一项名为“ITO靶材的绑定方法及ITO靶材”的专利，公开号CN 119121156 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种ITO靶材的绑定方法，并公开了ITO靶材，ITO靶材的绑定方法包括：步骤一：获取铟块、靶材和背管；步骤二：将纯铟加热到熔融状态，以形成铟液，在铟液中掺杂锌；步骤三:在靶材的内表面涂抹掺杂锌的铟液，且在背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液，将靶材套设于背管，以使靶材与背管之间具有间隙，通过绑定工装固定靶材与背管；步骤四：将掺杂锌的铟液浇铸到间隙中使掺杂锌的铟液充满间隙，以形成绑定层；步骤五：冷却靶材、背管以及绑定层，且拆卸绑定工装；含有锌的铟比纯铟的在液态情况下有更好的流动性，在靶材与背管之间的间隙浇铸掺杂锌的铟液时，掺杂锌的铟液的流动阻力减少，能够提高靶材与背管的绑定贴合率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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