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金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，北京凯芯新材料科技有限公司取得一项名为“一种注入器”的专利，授权公告号 CN 222126447 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体制造的技术领域，提供了一种注入器，其包括反应池以及连通于反应池的第一注入导管和第二注入导管，所述反应池位于径向方向的横截面呈椭圆环形设置，所述反应池沿其自身的长度方向间隔设置有若干个出气口。本申请通过将反应池位于径向方向上的横截面呈椭圆形设置，可增大注入器在工艺装置与其他设备之间所留有间隙的占用，从而以增加反应池的内部空间，进而以增加工艺气体的容纳量，也可增大第一注入管和第二注入管自身的直径，以根据需求提高工艺气体的注入量，即在满足空间需求的基础上，以提高工艺气体的注入量的有益效果。
本文源自：金融界
作者：情报员
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