金融界2024年12月7日消息,国家知识产权局信息显示,海珀(滁州)材料科技有限公司申请一项名为“一种掩膜版加工用磨边装置”的专利,公开号 CN 119077557 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明适用于掩膜版加工设备技术领域,提供了一种掩膜版加工用磨边装置,包括支撑底座和放置箱,放置箱通过固定板一安装于支撑底座的两侧壁之间,放置箱的顶部贯通开设有若干道放置槽,放置箱的下方设置有打磨组件,打磨组件安装于支撑底座的两侧壁之间,打磨组件的传送端罩设有收集组件;收集箱将砂带的从动端罩设在内部,经过砂带对半导体掩膜版底部打磨留下的粉尘和碎屑在砂带的传送下进入收集箱内,碎屑和大部分粉尘直接掉入收集盒内,小部分吸附在砂带上的粉尘在排刷的作用下扫落进入收集盒内,因粉尘和碎屑被局限于收集箱的内部空间里,实现对粉尘和碎屑的清理的同时避免了粉尘飞扬造成环境污染。
本文源自:金融界
作者:情报员
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