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金融界2024年12月4日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备”的专利，公开号 CN 119065205 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本发明提供了一种物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备，所述物镜的调试方法包括：获取物镜的当前像质、灵敏度矩阵及当前参数，输出可调镜片的若干初始调整量；将初始调整量编码作为个体，并输出初始化的种群；结合物镜的灵敏度矩阵，建立物镜的像质适应度函数，计算种群的像质适应度值；采用遗传算法，利用像质适应度函数，对种群进行迭代至种群成熟，并输出可调镜片基于当前像质的最优调整量；将最优调整量应用于物镜，获得物镜的优化像质。本发明 中，将本实施例通过理论所获得最优调整量应用于物镜的调试，不仅可利用该最优调整量快速收敛像质，提高物镜的调试效率，还可简化物镜的调试流程，提高物镜的调试进程。
本文源自：金融界
作者：情报员
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