金融界2024年12月4日消息,国家知识产权局信息显示,内蒙古中环晶体材料有限公司申请一项名为“用于单晶圆棒检测系统的校验方法及校验装置”的专利,公开号 CN 119063778 A,申请日期为 2023年5月。
专利摘要显示,本公开提供了一种用于单晶圆棒检测系统的校验方法和校验装置,校验方法包括:生成校验指令,校验指令包括待校验样品信息以及对应载具的信息;根据校验指令从立体库调取目标载具出库;读取目标载具的芯片信息并生成PLC检测单;根据 PLC 检测单对待校验样品进行校验,将校验结果存入MCS输送线控制系统内以及将目标载具及待校验样品输送会立体库通过利用 MES、MCS、WMS 系统控制带有 RFID、PLC 的电控设备,将校验样品流转至指定工位,完成对单晶圆棒电阻率、少子寿命、长度、直径、称重检测设备校验动作,并将校验数据采集到指定系统数据库,能够提高设备校验效率,无需人员投入。
本文源自:金融界
作者:情报员
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