金融界2024年11月27日消息,国家知识产权局信息显示,吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司取得一项名为“一种晶圆切边设备”的专利,授权公告号CN 222051711 U,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种晶圆切边设备。该晶圆切边设备包括:晶圆输送机构,具有彼此相对的第一端和第二端,晶圆输送机构用于将晶圆在第一端与第二端之间进行输送;对中定位机构,位于第一端在第一方向上的一侧,用于对晶圆进行对中定位;第一传输手,可受控地在对中定位机构与第一端之间移动,以将对中定位机构上的晶圆转移至第一端上;晶圆切边机构,对应于第二端布设,用于对位于第二端上的晶圆进行切边加工;清洗模块,位于第一端在第二方向上的一侧,用于对晶圆进行清洗;第二传输手,可受控地在第一端与清洗模块之间移动,以将第一端上的晶圆转移至清洗模块;及晶圆进出机构,用于向对中定位机构提供晶圆,还用于接收清洗模块上的晶圆。
本文源自:金融界
作者:情报员
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