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金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司申请一项名为“一种螺旋谐振器反应器”的专利，公开号CN 118942997 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明涉及等离子体源技术领域，提出一种螺旋谐振器反应器，包括：射频电源；以及放电管，其包括：螺旋管，其长度为1/2mλ，其中λ表示与射频电源的频率对应的波长，m表示正整数；以及第一和第二衬底台，其被配置为承载衬底，所述第一和第二衬底台布置在所述螺旋管的两端。本发明基于放电等离子体的三维自洽能力，通过增加或减少λ/4的电气长度精确控制放电特性，优化等离子体源的性能，充分利用物理场中每一个平衡位置，提高了整个等离子体腔室的作业效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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