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金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司取得一项名为“一种热处理设备用温控装置”的专利，授权公告号CN 221885059 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种热处理设备用温控装置，包括法兰，所述法兰上设有晶圆片固定架以及温控机构，所述温控机构包括接线盒，所述接线盒上设有绝缘管，所述绝缘管内设有热电偶芯，所述热电偶芯的端部为圆饼状，所述晶圆片固定架包括石英舟，所述石英舟的中间部分镂空，所述石英舟的内侧设有固定块，所述固定块的内侧设有托槽，所述热电偶芯的端部即固定于托槽内；本实用新型结构简单，设计新颖，使热电偶芯端部的顶面可刚好接触到晶圆片的底面从而实时监控晶圆片表面的温度保证晶圆片热处理到位。
本文源自：金融界
作者：情报员
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