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金融界 2024 年 10 月 25 日消息，国家知识产权局信息显示，大连益盛达智能科技有限公司取得一项名为“一种晶圆旋转装置”的专利，授权公告号 CN 221861623 U，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，一种晶圆旋转装置，属于半导体技术领域，包括载台、同步轮、伺服电机和装置本体，载台上设置晶圆，载台通过同步轮与伺服电机相连，载台设置在装置本体上。所述载台固定设置在支撑座上；所述支撑座的下方与同步轮相连；所述载台下方设置防止载台歪斜的固定支撑块所述固定支撑块固定设置在装置本体上晶圆片在巡边寻找 notch 口定位时，本实用新型装置可以平稳地旋转，本实用新型通过固定支撑块防止载台在在旋转的过程出现歪斜。
本文源自：金融界
作者：情报员
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