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金融界2024年10月21日消息，国家知识产权局信息显示，石家庄帕威半导体科技有限公司取得一项名为“一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置”的专利，授权公告号CN 221824810 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型是一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，涉及尾气输送技术领域，包括止回管，止回管的两端分别连接有进气管和出气管，所述止回管中设置有中空管，中空管的一端通过闭合壁与弹簧相连接，中空管设置在止回管的进气腔中，闭合壁与进气腔的一端相贴合，中空管靠近闭合壁的一端上设置有多个出气孔，在需要对尾气进行运输时，尾气通过推动闭合壁对弹簧进行挤压，从而让闭合壁与进气腔分离，中空管上的出气孔移出进气腔中，尾气通过出气孔进入止回腔中，在尾气输送完成后，弹簧推动中空管进入到进气腔，使得闭合壁与进气腔的一端相贴合，从而阻止尾气回流到进气腔中，实现自动闭合，避免操作失误导致尾气回流现象的出现。
本文源自：金融界
作者：情报员
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