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金融界2024年10月19日消息，国家知识产权局信息显示，海珀（滁州）材料科技有限公司申请一项名为“一种抛光打磨装置中碎屑物清理机构”的专利，公开号CN 118752416 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明适用于半导体加工技术领域，提供了一种抛光打磨装置中碎屑物清理机构，包括：工作台，其顶壁上固定安装有夹持机构，所述夹持机构内夹装有待加工的工件，抛光机构，其固定连接于所述工作台的外侧，且延伸至所述夹持机构上方，所述工作台的顶壁上还呈矩阵的设置有围挡框架，清扫机构，其具有：活动连接于所述围挡框架上的驱动组件，所述驱动组件上固接有清理组件，通过设置驱动组件，其在工作时会带动清理组件顺工作台表面水平往复运动，通过清理组件上的清扫毛刷以及两侧的空气喷嘴对工作台以及工件上残留的碎屑物进行清扫以及吹除，使碎屑物向工作台两侧开设的集灰机构移动，以便近距离对碎屑物进行全面的清扫，避免工件上残留有碎屑物。
本文源自：金融界
作者：情报员
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