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金融界2024年10月17日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市芥子精研科技有限公司申请一项名为“一种真空镀膜机”的专利，公开号CN 118773564 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种真空镀膜机，属于真空镀膜技术领域，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体，所述环形主腔体的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；环形主腔体的内部设有转动组件；所述环形主腔体的内部安装有多个靶材模块，所述环形主腔体的外部通过安装板连接有分子泵，所述环形主腔体的外部安装有ICP模块所述分子泵和ICP模块均通过管道与环形主腔体的内部相连通；本发明将分子泵和靶材模块通过管道连接于环形主腔体的内部，有利于真空度的控制和结构的紧凑性，同时可以提高生产的灵活性，允许同时或交替沉积不同的材料，放置在治具上的产品在转架的带动下转动，这样有助于自动化镀膜过程，提高生产效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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