探秘ASML荷兰总部

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来源：内容编译自HankYung，谢谢。

费尔德霍芬 (Feldhoven) 距荷兰阿姆斯特丹东南方向 1 小时 40 分钟车程。这个对外行人来说看似安静的乡村的地方，却是中美“芯片大战”的关键战场。这是因为ASML有其总部。即便是主导全球晶圆代工（半导体代工生产）市场的台湾台积电，在ASML的极紫外（EUV）曝光设备“High-NA EUV”面前也只是“客户之一”。

9月初，夏日炎炎，韩国媒体HankYung成为第一家踏上ASML园区并会见ASML CEO Christopher Fouquet的媒体。这里只有三星电子董事长李在镕、台积电首席执行官等少数“半导体巨头”可以在参观名册上留下签名。韩国经济日报今年第三次与首尔大学工学院合作出版“探访未来科技领域”系列文章，经过三年的说服，才得以派记者来此。这是“三试三试”的结果。

在总部一楼经过彻底的身份识别，进入大楼后，“专利墙”引起了我的注意。这是一个总结ASML技术历史的空间。“这是对开发该技术的工程师的尊重，”

ASML公关经理凯尔西·西格斯 (Kelsey Siegers) 说。ASML持有的专利数量2020年超过13,500项，2021年超过15,000项，2022年超过16,000项，去年为17,000项。在记者眼里，这被解读为一种自信，“如果你要跟着我，那就跟着我吧。” High-NA EUV是一种半导体设备，被与中国进行技术和贸易战的美国严格禁止向中国出口。

ASML 计划通过 High-NA EUV 再次给世界带来惊喜。没有High-NA EUV，就不可能进入被称为晶圆代工未来的3纳米（nm·1nm=十亿分之一米）工艺。这就是为什么三星电子和台积电计划再购买至少一台该设备。“High-NA EUV 的光学系统可以以纳米级精度控制高速光源，”首席执行官 Fouquet 表示，“整个系统必须处于真空且极其洁净的状态，并且温度必须精细控制在 0.005 摄氏度。”我们应用了一定水平的技术，”他强调说。

High-NA EUV有望成为超越纳米、首次开启NGSTRM时代的“梦想设备”。这意味着超精细电路可以以埃（又是 1 纳米的 1/10）为单位绘制在硅基板上。ASML的技术可以说是来自荷兰、德国和瑞士的欧洲精密光学的积累，有望在半导体历史上书写又一个篇章。

这意味着，即使中美霸权战争陷入深渊，拥有EUV曝光设备“Sovereign Tech”的荷兰仍将是一个受到双方阵营“爱呼唤”的国家。

ASML推出“High-NA EUV”曝光设备

在荷兰Veldhoven的ASML园区总部一楼，有一个“体验中心”，集成了ASML过去40年积累的技术。尹锡烈社长和三星电子会长李在镕也参观过，这里的很大一部分展示了世界上只有ASML可以制造的极紫外（EUV）曝光设备的关键部件。

最吸引我眼球的是德国光学公司蔡司生产的镜头。蔡司的镜头起着聚光的作用，是创造 ASML 的“高数值孔径 EUV”的关键组件。如果没有这个镜头，EUV 技术就不可能实现。发射光的激光机的原始技术也是从德国特朗普公司引进的。这就是为什么 ASML 首席执行官 Christopher Fouquet 说：“ASML 历史上最重要的词是生态系统。”中国几乎在所有技术上都赶上了美国，但它之所以无法模仿ASML，是因为它不懂得如何进行超越一国的技术合作。

人类史上最复杂的机器

曝光是八大半导体工艺中最重要的一种，是通过照射光源在晶圆上重复印刷设计电路的过程，被认为是实现超精细电路的关键技术。最先进的曝光技术是EUV。ASML的高NA EUV曝光设备每台成本高达数千亿韩元，无可替代，以至于被戏称为“人类创造的最复杂的机器”。这是代表荷兰的“Sovereign Tech”。

矛盾的是，正是通过与各个公司的技术合作，才创造出了一项足以保护国家主权的重要技术。ASML有超过5100家合作伙伴公司，合作制造EUV曝光机以及深紫外（DUV）曝光机，级别较低。不分国籍、学历、专业的人才招聘策略也是ASML合作管理的重要轴心。ASML员工来自美国、欧洲、亚洲、非洲等140个国家。首席执行官 Fouquet 强调，“我们在 16 个国家拥有超过 44,000 名具有不同背景的员工”，并补充道，“无论专业或国籍如何，我们在招聘多元化人才方面处于领先地位。”

研发人员增加 50%

上个月我参观的ASML园区正忙着扩建晶圆厂。重型建筑设备不断移动，洁净室建设也被认为是为了扩大研发和生产设施。公关经理 Kelsey Siegers 解释道：“我们的目标是到 2026 年每年能够生产 90 台 EUV 曝光机，到 2028 年每年能够生产 20 多台第二代 EUV 设备 High-NA EUV。”

ASML 寻求扩建园区的原因是，即使中美之间的半导体战争愈演愈烈，仍要保持 EUV 技术差距。ASML继续扩大研发投资。2020年研发投资规模为22亿欧元，去年几乎翻倍至40亿欧元。同期，研发员工也增加了50%，从10,543人增加到15,605人。韩国、美国、中国和台湾之所以不得不使用ASML设备，就是研发。

原文链接：https://www.hankyung.com/article/2024100674951

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